小久保 光典 | Beansプロジェクト Macro Beans センター

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概要

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Beansプロジェクト Macro Beans センター | 論文

• プラズマ化学輸送法により作製したシリコン膜特性評価
• Siノズルを用いたSi微粒子のミスト吐出
• Siノズルを用いたSi微粒子のミスト吐出
• 37th International Symposium on Microelectronics (IMAPS 2004) 報告
• 大気圧プラズマ化学輸送法を用いて作製したシリコン膜の特性評価

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