関口 淳 | リソテックジャパン(株)

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概要

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• リソテックジャパン(株)の論文著者

リソテックジャパン(株) | 論文

• ホトリソグラフィ用化学増幅レジストのシミュレーションパラメータの推算
• 液浸リソグラフィ用レジスト材料の評価技術
• 厚膜レジストにおける実測溶解速度を用いたプロキシミティ・リソグラフィ・シミュレーションの検討
• P.E.B.プロセスにおけるホトレジストの感光剤の拡散長の推算
• ホトレジスト現像パラメータ測定システムの開発

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