小川 悦治 | (株)東芝研究開発センターデバイスプロセス開発センター

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概要

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関連著者

• 柴田 英毅

  (株)東芝 プロセス技術研究所

• 下岡 義明

  (株)東芝

• 杉崎 吉昭

  (株)東芝研究開発センターデバイスプロセス開発センター

• 小川 悦治

  (株)東芝研究開発センターデバイスプロセス開発センター

• 齋藤 友博

  (株)東芝 研究開発センター デバイスプロセス開発センター

• 山崎 宏明

  (株)東芝 研究開発センター デバイスプロセス開発センター

• 池橋 民雄

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• 杉崎 吉昭

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• 池橋 民雄

  (株)東芝セミコンダクター社

• 山崎 宏明

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• 下岡 義明

  株式会社東芝 セミコンダクター社 システムLSI開発センター

• 齋藤 友博

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• 池橋 民雄

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• 柴田 英毅

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• 下岡 義明

  (株)東芝 研究開発センター デバイスプロセス開発センター

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著作論文

• CMOS混載RF-MEMS可変容量(招待講演,異種デバイス集積化/高密度実装技術,デザインガイア2011-VLSI設計の新しい大地-)
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• CMOS混載RF-MEMS可変容量
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