SATOH Masaki | Tokyo Institute of Technology

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概要

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• 同名の論文著者
• Tokyo Institute of Technologyの論文著者

関連著者

• OHMI Shun-ichiro

  Tokyo Institute of Technology

• KUROSE Tomoki

  Tokyo Institute of Technology

• SATOH Masaki

  Tokyo Institute of Technology

• Ohmi Shun‐ichiro

  Tokyo Inst. Technol. Yokohama Jpn

著作論文

• Ultrathin HfO_xN_y Gate Insulator Formation by Electron Cyclotron Resonance Ar/N_2 Plasma Nitridation of HfO_2 Thin Films(Si Devices and Processes,Fundamental and Application of Advanced Semiconductor Devices)

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