川端 洋成 | 東北大未来科学技術共同研究センター
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概要
東北大未来科学技術共同研究センター | 論文
- 半導体・平板ディスプレイとそれらの製造設備用樹脂材料の分解抑制(プロセスクリーン化と新プロセス技術)
- 大型液晶ディスプ***ロジェクトが切り開く未来(総合報告)
- マイクロ波励起プラズマ有機金属化学気相堆積装置の開発と強誘電体Sr_2(Ta_,Nb_x)_2O_7膜の形成(不揮発性メモリ及び関連プロセス一般)
- 高純度有機金属ガス供給システムに関する研究(プロセス科学と新プロセス技術)
- プラズマディスプレイ用電極保護膜の高性能化に向けた計算機シミュレーション(プロセス科学と新プロセス技術)