近藤 正彦 | 大阪大学大学院 工学研究科 量子電子情報工学専攻

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概要

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• 同名の論文著者
• 大阪大学大学院 工学研究科 量子電子情報工学専攻の論文著者

関連著者

• 石川 史太郎

  北海道大学量子集積エレクトロニクス研究センター及び大学院工学研究科電子情報工学専攻

• 近藤 正彦

  大阪大学大学院工学研究科量子電子情報工学専攻

• 石川 史太郎

  大阪大学大学院工学研究科量子電子情報工学専攻

• 北林 佑太

  大阪大学大学院工学研究科量子電子情報工学専攻

• 近藤 正彦

  大阪大学大学院 工学研究科 量子電子情報工学専攻

• 栂野 裕二

  大阪大学大学院工学研究科電気電子情報工学専攻

• 望月 雅矢

  大阪大学大学院工学研究科量子電子情報工学専攻

• 近藤 正彦

  大阪大学大学院工学研究科電気電子情報工学専攻

• 北林 佑太

  大阪大学大学院工学研究科電気電子情報工学専攻

• 石川 史太郎

  大阪大学大学院工学研究科電気電子情報工学専攻

著作論文

• フォトニック結晶構造作製を目的とした高Al組成AlGaAs誘導結合型プラズマエッチング(TFT(有機,酸化物),半導体プロセス・デバイス(表面,界面,信頼性),一般)
• AlGaAs系フォトニック結晶構造作製に向けたICPドライエッチングマスクに関する研究(窒化物及び混晶半導体デバイス,及び一般)
• AlGaAs系フォトニック結晶構造作製に向けたICPドライエッチングマスクに関する研究(窒化物及び混晶半導体デバイス,及び一般)
• AlGaAs系フォトニック結晶構造作製に向けたICPドライエッチングマスクに関する研究(窒化物及び混晶半導体デバイス,及び一般)

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