華園 雅信 | 株式会社日立製作所日立研究所

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概要

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• 同名の論文著者
• 株式会社日立製作所日立研究所の論文著者

関連著者

• 府山 盛明

  株式会社日立製作所日立研究所

• 華園 雅信

  株式会社日立製作所日立研究所

• 本田 晴彦

  日立ツール(株)

• 浦 満

  日本鉱業株式会社電子材料部品研究所

• 森尻 誠

  株式会社日立製作所日立研究所

• 田村 克

  株式会社日立製作所日立研究所

著作論文

• 中規模CVD装置によるHfC-(Hf・Ti) C-TiC三層膜の生成, 摩耗モード
• 液晶ディスプレイパネルの電極形成技術

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