MAEYAMA S. | NTT Basic Research Laboratories

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概要

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• 同名の論文著者
• NTT Basic Research Laboratoriesの論文著者

関連著者

• Kyuragi H.

  Ntt System Electronics Laboratories

• HIRATA A.

  NTT System Electronics Laboratories

• MACHIDA K.

  NTT System Electronics Laboratories

• MAEYAMA S.

  NTT Basic Research Laboratories

• WATANABE Y.

  NTT Basic Research Laboratories

著作論文

• Improved Diffusion Barrier Capability of Thin WSiN Film by RF Bias Application during ECR Plasma Nitridation

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