中平 航太 | 東北大院

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概要

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関連著者

• 鈴木 研

  東北大学大学院工学研究科附属エネルギー安全科学国際研究センター

• 三浦 英生

  東北大学大学院工学研究科附属エネルギー安全科学国際研究センター

• 三浦 英生

  東北大

• 三浦 英生

  東北大通研

• 鈴木 研

  東北大

• 中平 航太

  東北大

• 中平 航太

  東北大院

• 岸 宏樹

  東北大院

• 岸 宏樹

  東北大学

• 岸 宏樹

  Department Of Nanomechanics Graduate School Of Engineering Tohoku Univ

• 多胡 弘紀

  東北大工

• 三浦 英生

  Department of Nanomechanics, Graduate School of Engineering, Tohoku Univ

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著作論文

• 108 ナノスケールトランジスタ製造工程の残留応力変動計測(若手優秀講演フェロー賞対象講演(3))
• PS12 埋め込みひずみゲージ法による薄膜微細加工誘起応力の評価(フェロー賞対象ポスターセッション)

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