金 勲 | 東京大学生産技術研究所
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概要
関連著者
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金 勲
東京大学生産技術研究所
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東京大学先端科学技術研究センター
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著作論文
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- Si イオン注入法を用いた単結晶 Al_2O_3 膜のエッチング