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小栗 和幸 | (株) 豊田中央研究所
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新井 透
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小栗 和幸
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藤田 浩紀
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著作論文
プラズマCVD法によるTiN被覆層の硬度におよぼす含有Cl量の影響
プラズマCVD法によるTiC被覆層の硬度におよぼす含有Cl量および過剰C量の影響
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