山田 博之 | 芝浦工業大学工学部物質系応用化学科

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概要

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• 同名の論文著者
• 芝浦工業大学工学部物質系応用化学科の論文著者

関連著者

• 知京 豊裕

  物質・材料研究機構

• 生田目 俊秀

  (株)半導体先端テクノロジーズ(selete):(現)(独)物質・材料研究機構

• 大石 知司

  芝浦工業大学 工学部 応用化学科

• 山田 博之

  芝浦工業大学工学部物質系応用化学科

• 生田目 俊秀

  物質・材料研究機構MANAファウンドリ&MANA半導体材料グループ

• 大井 暁彦

  物質・材料研究機構MANAファウンドリ&MANA半導体材料グループ

• 生田目 俊秀

  物質・材料研究機構manaファウンドリ&mana半導体材料グループ

• 知京 豊裕

  物質・材料研究機構manaファウンドリ&mana半導体材料グループ

• 大石 知司

  芝浦工業大学工学部物質系応用化学科

• 大井 暁彦

  物質・材料研究機構manaファウンドリ&mana半導体材料グループ

著作論文

• ITO/HfO_2MOSキャパシタで、酸化・還元熱処理がVfbシフトへ及ぼす影響(ゲート絶縁薄膜,容量膜,機能膜及びメモリ技術)

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