小坂 由紀子 | 松下電器産業(株) 半導体研究センター

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概要

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関連著者

• 小坂 由紀子

  松下電器産業(株) 半導体研究センター

• 江利口 浩二

  松下電子工業(株)半導体社プロセス開発センター

• 江利口 浩二

  松下電器産業(株)

• 畑田 賢造

  松下電器産業株式会社半導体研究センター

• 山田 隆順

  松下電器産業(株) 半導体研究センター

• 畑田 賢造

  松下電器産業(株)

• 山田 隆順

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• 畑田 賢造

  松下電器産業 (株)

著作論文

• プラズマダメージを受けたゲート酸化膜の定電流TDDB寿命と定電圧TDDB寿命の関係

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