SATO Y. | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd.

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概要

• 同名の論文著者
• Matsushita Electric Industrial Co., Ltd.の論文著者

関連著者

• YAMAMOTO K.

  Matsushita assignee at IMEC

• Oosuka T.

  Matsushita Electric Industrial Co. Ltd.

• SAKASHITA S.

  Renesas Technology Corporation

• YUGAMI J.

  Renesas Technology Corporation

• SATO Y.

  Matsushita Electric Industrial Co., Ltd.

• INOUE M.

  RENESAS technology Corp.

• ANMA M.

  RENESAS technology Corp.

著作論文

• Phase and Composition Control of Ni-FUSI gates by N_2 I/I with Double Ni-silicidation

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