o'morain c. | ニチメン電子工研(株)

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概要

• 同名の論文著者
• ニチメン電子工研(株)の論文著者

ニチメン電子工研(株) | 論文

• 酸化クロム膜のハロゲンプラズマに対する耐腐食テスト
• 永久磁石を用いた大口径 ECR プラズマ源(2) : エッチング特性
• 永久磁石を用いた大口径 ECR プラズマ源(1) : プラズマ特性
• 多孔式電子ビーム励起プラズマソースの開発とダイヤモンド様炭素膜の作製
• ダイヤモンド様炭素膜の高速堆積

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