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戸田 健司 | 新潟大 工
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新潟大 工 | 論文
SBD法を用いたAZO薄膜作製における特性の検討(薄膜プロセス・材料,一般)
交互積層法によるMg-Ni薄膜の作製
反応性高速スパッタ法により作製したTiO_2薄膜の構造と光触媒特性(薄膜プロセス・材料,一般)
スパッタ法による磁気記録媒体用Cr下地膜の微細構造制御法の検討
対向ターゲット式反応性スパッタ法によるCuAlO_2薄膜の作製と評価
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