KAWAMOTO Tomokazu | Fujitsu Ltd.

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概要

• 同名の論文著者
• Fujitsu Ltd.の論文著者

関連著者

• NAKANISHI Toshiro

  FUJITSU LABORATOIRES Ltd.

• Takasaki K

  Ulsi Technology Laboratory Fujitsu Laboratories Ltd.

• Takasaki Kanetake

  Fujitsu Laboratories Limited

• KAWAMOTO Tomokazu

  Fujitsu Ltd.

著作論文

• Instability of SiO_2 Film Caused by Fluorine and Chlorine Inclusion

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