Buchaillot Lionel | Institut D'electronique Et De Micro-electronique Du Nord Iemn Umr Cnrs 8520
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概要
関連著者
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Buchaillot Lionel
Institut D'electronique Et De Micro-electronique Du Nord Iemn Umr Cnrs 8520
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Collard Dominique
Cirmm Iis-cnrs Institute Of Industrial Sciences The University Of To
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Collard Dominique
Institute D'electronique Et De Microelectronique Du Nord France
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Legrand Bernard
Institut D'electronique De Microelectronique Et De Nanotechnologie
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Legrand Bernard
Institut D'electronique Et De Micro-electronique Du Nord Iemn Umr Cnrs 8520
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MILLET Olivier
Institut d'Electronique et de Micro-Electronique du Nord, IEMN, UMR CNRS 8520
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BUCHAILLOT Lionel
Institut d'Electronique et de Micro-Electronique du Nord, IEMN, UMR CNRS 8520
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Millet Olivier
Institut D'electronique Et De Micro-electronique Du Nord Iemn Umr Cnrs 8520
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Collard Dominique
Institute of Industrial Science, The University of Tokyo
著作論文
- Influence of the Step Covering on Fatigue Phenomenon for Polycrystalline Silicon Micro-Electro-Mechanical-Systems (MEMS) : Instrumentation, Measurement, and Fabrication Technology
- Micro/Nano Mechatronics. Microsystem for Telecommunication.