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中野 順太 | HOYA株式会社先端技術研究所
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関連著者
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Hoya株式会社先端技術研究所
八木 邦明
HOYA株式会社先端技術研究所
中野 順太
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著作論文
大口径Si基板上への3C-SiC薄膜エピタキシャル成長 : 招待講演
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