井上 尚実 | 静岡大学電子工学研究所
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概要
関連著者
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伊ケ崎 泰宏
静大電子研
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井上 尚実
静岡大学電子工学研究所
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伊ヶ崎 泰宏
静岡大学電子工学研究所
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島岡 五朗
静岡大学電子工学研究所
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伊ケ崎 泰宏
静岡大学電子工学研究所
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久保山 治
静岡大学電子工学研究所
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筒井 匠司
静岡大学電子工学研究所
著作論文
- マグネトロン化のための簡易型ターゲットホルダーの試作
- 金属ターゲットを用いた反応性rfマグネトロンスパッタリングによるAlドープZnO薄膜の作製
- 反応性rfスパッタリングによるZnO : Al薄膜の真空中アニーリング