堀越 浩 | ソニー(株)

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概要

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関連著者

• 堀越 浩

  ソニー(株)

• 野上 毅

  ソニー(株)

• 駒井 尚紀

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• 根本 剛直

  川崎製鉄株式会社

• 田井 香

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• 大岡 豊

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• 瀬川 雄司

  ソニー(株)

• OHTORII Hiizu

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著作論文

• 結晶微細構造制御によるAlCu/TiN配線信頼性向上 (LSI特集号)
• 無電解CoWPキャップを適用したCu配線のプロセスインテグレーション及びその配線特性

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