野上 毅 | ソニー(株)

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概要

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• 野上 毅

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• 駒井 尚紀

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• 田井 香

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• 大岡 豊

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• 堀越 浩

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• 瀬川 雄司

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• OHTORII Hiizu

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著作論文

• 100nm世代のCu/低誘電率配線で起き得る配線構造の変化と、そのCMPへの影響
• 無電解CoWPキャップを適用したCu配線のプロセスインテグレーション及びその配線特性

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