平井 実 | 新電元工業(株)研究開発センター

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概要

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• 同名の論文著者
• 新電元工業(株)研究開発センターの論文著者

関連著者

• 黒田 司

  大阪大学産業科学研究所

• 黒田 司

  大阪大学 産業科学研究所

• 平井 実

  新電元工業(株)研究開発センター

• 岩黒 弘明

  新電元工業(株)研究開発センター

• 岩黒 弘明

  大阪大学産業科学研究所

• 平井 実

  新電元工業 (株) 研究開発センター

著作論文

• マグネトロンイオンエッチングによってSi表面上に形成された汚染膜のX線光電子分光法による観察
• 酸素プラズマアッシングによるデバイス汚染

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