工藤 寛 | 富士通株式会社プロセス開発部第四開発部

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概要

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• 同名の論文著者
• 富士通株式会社プロセス開発部第四開発部の論文著者

関連著者

• 篠原 理華

  富士通株式会社プロセス開発部第四開発部

• 武石 俊作

  富士通株式会社プロセス開発部第四開発部

• 工藤 寛

  富士通株式会社プロセス開発部第四開発部

• 山田 雅雄

  富士通株式会社プロセス開発部第四開発部

著作論文

• プラズマ気相成長を用いた高耐熱性・低誘電率フッ化炭素膜の形成

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