MAKINO Takahiro | NTT Electrical Communications Laboratories

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概要

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関連著者

• Maeda Masahiko

  Ntt Electrical Communications Laboratories

• MAKINO Takahiro

  NTT Electrical Communications Laboratories

• Maeda Masahiko

  Ntt Electrical Communications Laboratories Tokai-mura

• Makino Takahiro

  Ntt Electrical Communications Laboratories Morinosato

著作論文

• Bonds and Defects in Plasma-Deposited Silicon Nitride Using SiH_4-NH_3-Ar Mixture
• Low Dielectric Constant Amorphous SiBN Ternary Films Prepared by Plasma-Enhanced Deposition

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