Kuo Y | Texas A&m Univ. Tx Usa

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概要

• 同名の論文著者
• Texas A&m Univ. Tx Usaの論文著者

関連著者

• Kuo Y

  Texas A&m Univ. Tx Usa

• KUO Yue

  IBM Research Division, T. J. Watson Research Center

• Kuo Yue

  Ibm Reseach Division T.j.watson Rsearch Center

著作論文

• Reactive Ion Etching of Sputter Deposited Tantalum with CF_4, CF_3Cl, and CHF_3

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