香取 健二 | 中央研究所

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概要

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• 同名の論文著者
• 中央研究所の論文著者

関連著者

• 青山 純一

  ソニー

• 文 範基

  ソニー(株)、コアテクノロジー開発本部

• 青山 純一

  超lsi研究所

• 磯辺 千春

  中央研究所

• 香取 健二

  中央研究所

• 磯辺 千春

  ソニー(株)、コアテクノロジー開発本部

著作論文

• 低温プロセスによる高絶縁・高容量Ta_2O_5キャパシタ膜の作製 : Ta_2O_5キャパシタ膜の電気的特性改善

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