高塚 汎 | 三菱重工業(株)動機事業本部再生エネルギー事業部太陽電池事業ユニット
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概要
三菱重工業(株)動機事業本部再生エネルギー事業部太陽電池事業ユニット | 論文
- 3.超高周波を用いた大面積プラズマCVDの開発と薄膜シリコン太陽電池への応用(実用化プロセスにおけるプラズマ源の革新〜平行平板プラズマ源から新プラズマ源へ〜)
- バラン給電法によるVHFプラズマの特性
- 超音速不足噴流を用いた非平衡プラズマCVDによるα/μc-Si:H膜成長
- 石炭ガス化複合発電の開発(高効率化への挑戦)
- 再生可能エネルギー利用の概要(再生可能な自然エネルギー利用の現状)