伊藤 文和 | (株)日立製作所

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概要

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関連著者

• 伊藤 文和

  (株)日立製作所

• 豊山 晃

  東京工業大学精密工学研究所

• 原市 聡

  (株)日立製作所:(現)電子技術総合研究所

• 豊山 晃

  東京工業大学工学部

• 嶋瀬 朗

  (株)日立製作所生産技術研究所

• 伊藤 文和

  (株)日立製作所生産技術研究所

• 下河辺 明

  東京工業大学

• 高橋 貴彦

  (株)日立製作所デバイス開発センタ

• 下川辺 明

  東京工業大学精密光学研究所

• 高橋 貴彦

  (株)日立製作所

• 東 淳三

  (株)日立製作所生産技術研究所

• 伊藤 文和

  日立製作所

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著作論文

• 集束イオンビームアシストエッチングによるアルミニウムの加工
• LSIのオンチップ配線修正システムにおける集束イオンビーム加工技術の開発
• ウォームホブの研究(第2報) : 二番取り研削実験
• ウォームホブの研究 (第1報) : 二番面研削砥石形状の数値解析

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