星野 和弘 | ソニー株式会社セミコンダクタネットワークカンパニー
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概要
関連著者
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星野 和弘
ソニー株式会社セミコンダクタネットワークカンパニー
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星野 和弘
ソニー株式会社
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西村 敏博
早稲田大学大学院情報生産システム研究科
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西村 敏博
早稲田大学大学院 情報生産システム研究科 生命・生体工学研究室
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星野 和弘
早稲田大学大学院情報生産システム研究科
著作論文
- スパッタ Ti/CVD-TiN/CVD-Ti 多層膜下地上への高温スパッタ法あるいはリフロースパッタ法により形成したAlCu配線のエレクトロマイグレーション特性及びAl配向性の考察
- 積層AlCu配線の故障メカニズムの考察
- 微細配線におけるエレクトロマイグレーションとストレスマイグレーションの複合故障
- C-12-19 610万画素大判CCDイメージセンサを用いたカメラシステムの冷却によるノイズ低減(C-12.集積回路C(アナログ),一般講演)