小野 佑一 | 日立中研

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概要

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• 日立中研の論文著者

関連著者

• 小野 佑一

  日立中研

• 野村 正敬

  日立中研

• 斉田 広二

  日立中研

• 古賀 康史

  日立中研

著作論文

• 8p-H-10 選択気相エッチング-埋めエピタキシャル成長(II)
• モノシラン熱分解法による低温エピタキシャル成長 : 結晶成長
• モノシラン法シリコンエピタクシの速度論 : 結晶成長

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