石井 芳朗 | 住友金属鉱山(株)中央研究所

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関連著者

• 石井 芳朗

  住友金属鉱山(株)中央研究所

• 柴田 尚

  (株)ライムズ

• 柴田 尚

  株式会社日本製鋼所技術研究所

• 小林 邦明

  (株)ライムズ

• 市村 博司

  住友金属鉱山(株)中央研究所

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• 市村 博司

  住友金属鉱山 (株) 中央研究所

• 吉野 勇一

  (株)日本製鋼所技術研究所

• 石井 芳朗

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  (株)ライムズ

• 吉野 勇一

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著作論文

• プラズマCVD法による TiN 膜形成過程における活性プラズマ種
• DCプラズマCVD法によるTiN膜形成におよぼすN2流量の影響
• アークイオンプレーティング法によって形成した窒化物膜の高度と密着力

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