Koo Y‐m | Semiconductor Research Division Hyundai Electronics Industries Co. Ltd.

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概要

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Semiconductor Research Division Hyundai Electronics Industries Co. Ltd. | 論文

• Optical Proximity Correction Using Diffused Aerial Image Model
• Optical Proximity Correction Using Diffused Aerial Image Model
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• 光近接補正にたいする超薄膜レジストの近似モデル
• TiN Etching and Its Effects on Tungsten Etching in SF_6/Ar Helicon Plasma

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