大木 竜磨 | 東京工芸大学工学部電子情報工学科
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概要
関連著者
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星 陽一
東京工芸大学工学部
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大木 竜磨
東京工芸大学工学部電子情報工学科
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東京工芸大学工学部
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星 陽一
東京工芸大学 工学部 システム情報学科
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星 陽一
東京工芸大学工学部システム電子情報学科
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清村 貴利
東京工芸大学工学部
著作論文
- スパッタビーム堆積法によるITO薄膜の低温成膜
- スパッタ法によるITO薄膜の低温成膜法の検討
- CPM2000-78 低電圧スパッタ法により成膜したITO薄膜の熱処理効果
- 各種希ガスを用いて作製したITOスパッタ薄膜の諸特性
- スパッタ法によるITO薄膜の低温成膜法の検討
- 低エネルギースパッタ法によるITO薄膜の作製