曽根川 富博 | 琉球大学工学部
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概要
関連著者
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曽根川 富博
琉球大学工学部
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前濱 剛廣
琉球大学工学部
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上原 和浩
琉球大学工学部
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八井 浄
長岡技術科学大学極限エネルギー密度工学研究センター
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江 偉華
長岡技術科学大学極限エネルギー密度工学研究センター
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八井 浄
長岡技術科学大学 極限エネルギー密度工学研究センター
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江 偉華
長岡技術科学大学
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曽根川 富博
琉球大
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大友 勝彦
長岡技科大
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大友 勝彦
長岡技術科学大学
著作論文
- 低誘電率(Low-k)熱酸化陽極化成siの作製と誘電特性の評価(TFTの材料・デバイス技術・応用及び一般)
- 背面堆積イオンビーム蒸着法による(Ba_xSr_)TiO_3薄膜のin situ作製
- 低誘電率(Low-k)熱酸化陽極化成Siの作製と誘電特性の評価(TFTの材料・デバイス技術・応用及び一般)
- 低誘電率(Low-k)熱酸化陽極化成Siの作製と誘電特性の評価
- 低誘電率(Low-k)熱酸化陽極化成Siの作製と誘電特性の評価(電子材料)