Perrin Jerome | Laboratoire De Physique De Interfaces Et Des Couches Minces
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概要
関連著者
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Perrin Jerome
Laboratoire De Physique De Interfaces Et Des Couches Minces
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Perrin J
Onera Cnrs Plalaiseau Fra
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Jolly J
Onera Cnrs Plalaiseau Fra
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Cabarrocas Pere
Laboratoire De Physique De Interfaces Et Des Couches Minces
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Allain Bruno
Laboratoire De Physique De Interfaces Et Des Couches Minces
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Friedt Jean-marie
L'air Liquide Centre De Recherche Claude-delorme
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KAE-NUNE Patrick
Laboratoire PRIAM
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GUILLON Jean
Laboratoire PRIAM
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JOLLY Jacques
Laboratoire PRIAM
著作論文
- Mass Spectrometry Detection of SiH_m and CH_m Radicals from SiH_4-CH_4-H_2 RF Discharges under High Temperature Deposition Conditions of Silicon Carbide ( Plasma Processing)
- a-Si:H Deposition from SiH_4 and Si_2H_6 rf-Discharges: Pressure and Temperature Dependence of Film Growth in Relation to α-γ Discharge Transition : Surfaces, Interfaces and Films