JOLLY Jacques | Laboratoire PRIAM
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概要
関連著者
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JOLLY Jacques
Laboratoire PRIAM
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Perrin J
Onera Cnrs Plalaiseau Fra
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Shiratani Masaharu
Laboratoire Priam Unite Mixte De Recherche Cnrs-onera Fort De Palaiseau
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Jolly J
Onera Cnrs Plalaiseau Fra
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Perrin Jerome
Laboratoire De Physique De Interfaces Et Des Couches Minces
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KAE-NUNE Patrick
Laboratoire PRIAM
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GUILLON Jean
Laboratoire PRIAM
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Shiratani Masaharu
Laboratoire PRIAM, Unité Mixte de Recherche CNRS-ONERA, Fort de Palaiseau, F-91761 Palaiseau Cedex, France
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Videlot Herve
Laboratoire PRIAM, Unité Mixte de Recherche CNRS-ONERA, Fort de Palaiseau, F-91761 Palaiseau Cedex, France
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Perrin Jérôme
Laboratoire PRIAM, Unité Mixte de Recherche CNRS-ONERA, Fort de Palaiseau, F-91761 Palaiseau Cedex, France
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Perrin Jérôme
Laboratoire PRIAM, Unité Mixte de Recherche CNRS-ONERA, Fort de Palaiseau, F-91761 Palaiseau Cedex, France
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Jolly Jacques
Laboratoire PRIAM, Unité Mixte de Recherche CNRS-ONERA, Fort de Palaiseau, F-91761 Palaiseau Cedex, France
著作論文
- Mass Spectrometry Detection of SiH_m and CH_m Radicals from SiH_4-CH_4-H_2 RF Discharges under High Temperature Deposition Conditions of Silicon Carbide ( Plasma Processing)
- Surface Reaction Kinetics of CH 3 in CH 4 RF Discharge Studied by Time-Resolved Threshold Ionization Mass Spectrometry