Yamaguchi Akihisa | Fujitsu Laboratories Ltd.

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概要

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• 同名の論文著者
• Fujitsu Laboratories Ltd.の論文著者

関連著者

• AOYAMA Takayuki

  Fujitsu Laboratories Lid.

• SUGII Toshihiro

  FUJITSU LABORATORIES LTD.

• Yamaguchi Akihisa

  Fujitsu Laboratories Ltd.

• Aoyama Takayuki

  Fujitsu Laboratories Ltd.

著作論文

• Sub-2nm Equivalent SiO_2 Thickness Ta_2O_5 for Gate Dielectric Using RTA+UV/O_3

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