御子柴 宣夫 | 東北大学超微細電子回路実験施設:(現)ヒューレット・パッカード日本研究所)

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概要

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関連著者

• 御子柴 宣夫

  東北大学超微細電子回路実験施設:(現)ヒューレット・パッカード日本研究所)

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著作論文

• 究極のクリ-ン・ル-ム--極限微細化電子回路の実現を目指して
• スーパクリーン化技術への挑戦(精密工学の最前線)
• 超微細加工における環境技術
• P-32 走査型トンネル顕微鏡用積層形圧電セラミックアクチュエータ(ポスター:超音波伝搬・音場,超音波の動力的応用,圧電振動子・材料,弾性表面波理論)
• I-1 光音響法並びに光・熱放射法による半導体中の非発光過程と欠陥の研究(招待講演)

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