曽根 正人 | 東工大
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概要
関連著者
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肥後 矢吉
東京工業大学精密工学研究所
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曽根 正人
東京工業大学 精密工学研究所
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肥後 矢吉
東工大
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石山 千恵美
東工大
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曽根 正人
東京工大 精密工研
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曽根 正人
東工大
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SONE Masato
Precision and Intelligence Laboratory, Tokyo Institute of Technology
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Sone Masato
Precision and Intelligence Laboratory, Tokyo Institute of Technology, Yokohama 226-8503, Japan
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小山 聡
東工大:(現)住友化学
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柴田 曉伸
東工大
著作論文
- 438 MEMS用微小レジスト構造部材 : 基板間の接合強度に及ぼす膜厚の影響(T09-3 微小機械システムにおけるマイクロ・ナノ力学(3) マイクロ・ナノ実験力学,大会テーマセッション,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
- 2833 MEMS用微小構造部材-基板間の密着強度に及ぼすプロセス条件の影響(S08-2 微小機械設計・開発のための実験力学の新展開(2),S08 微小機械設計・開発のための実験力学の新展開)
- 2840 マイクロ試験片中の応力集中部が疲労特性へ及ぼす影響(S08-3 微小機械設計・開発のための実験力学の新展開(3),S08 微小機械設計・開発のための実験力学の新展開)