福井 洋文 | FRONTEC Inc.

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概要

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• FRONTEC Inc.の論文著者

関連著者

• 大見 忠弘

  東北大学工学部

• 小野 昭一

  アルプス電気株式会社

• 小野 昭一

  アルプス電気(株)

• 小野 昭一

  アルプス電気

• 笠間 泰彦

  東北大学工学部電子工学科

• 福田 航一

  FRONTEC Inc.

• 福井 洋文

  FRONTEC Inc.

• 岩崎 千里

  FRONTEC Inc.

著作論文

• 照射ion energyの制御によるTFT gate絶縁膜用PECVD-SiNxの高品質化

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