KRUG C. | SEMATECH

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概要

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関連著者

• Quevedo-lopez M.

  Texas Instruments

• Lee B.

  Ibm Assignees

• Lee B.

  Ibm

• KIRSCH P.

  IBM Assignees

• JAMMY R.

  IBM Assignees

• Jammy R.

  Ibm

• Kirsch P.

  Ibm

• KRISHNAN S.

  SEMATECH

• KRUG C.

  SEMATECH

• AGUIRRE F.

  UT-Dallas Dept. Elect. Eng.

• WALLACE R.

  UT-Dallas Dept. Elect. Eng.

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著作論文

• Plasma Nitridation of HfO_2 Enabling a 0.9nm EOT with High Mobility for a Gate First MOSFET

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