Ogura Atsushi | Nec Corporation Microelectronics Research Laboratories

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概要

• 同名の論文著者
• Nec Corporation Microelectronics Research Laboratoriesの論文著者

関連著者

• Ogura Atsushi

  Nec Corporation

• Ogura Atsushi

  Nec Corporation Microelectronics Research Laboratories

• Ogura Atsushi

  Nec Corp. Microelectronics Research Laboratories

著作論文

• Thinning of SOI Bonded Wafers by Applying Voltage during KOH Etching: Improvement of Thickness Variation by Reducing Leakage Current

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