中村 剛 | 日本精工(株)

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概要

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関連著者

• 中村 剛

  日本精工(株)

• 佐治 伸仁

  日本精工(株)

著作論文

• 高真空装置用エアスライドにおける大形差動排気シールの設計
• 真空環境対応位置決めテーブル用差動排気シールに関する基礎研究
• 真空環境対応位置決めテーブル用差動排気シールに関する基礎研究(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)

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