木村 雅秀 | 長岡技術科学大学工学部電気系
スポンサーリンク
概要
関連著者
-
赤羽 正志
長岡技術科学大学
-
安井 寛治
長岡技術科学大学
-
木村 雅秀
長岡技術科学大学工学部電気系
-
Hashim Abdul
長岡技術科学大学工学部電気系
-
Hashim Abdul
Department Of Electrical Engineering Nagaoka University Of Technology
著作論文
- ジメチルシランを用いたシリコン基板上への3C-SiCエピタキシャル成長
- 有機けい素化合物を用いたトライオードプラズマCVD法による結晶SiC膜の成長 (ワイドギャップ半導体とそのデバイス応用論文小特集)
- DMCSを用いたトライオードプラズマCVD法による空間的アフターグロープラズマの最適化と結晶SiC膜の低温成長