水野 文二 | 株式会社ユー・ジェー・ティー・ラボ

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概要

• 同名の論文著者
• 株式会社ユー・ジェー・ティー・ラボの論文著者

関連著者

• 小倉 基次

  パナソニック株式会社

• 中本 圭一

  株式会社ユー・ジェー・ティー・ラボ

• 佐々木 雄一朗

  株式会社ユー・ジェー・ティー・ラボ

• 岡下 勝巳

  株式会社ユー・ジェー・ティー・ラボ

• 北岡 太郎

  株式会社ユー・ジェー・ティー・ラボ

• 水野 文二

  株式会社ユー・ジェー・ティー・ラボ

著作論文

• 三次元フィンデバイスへのコンフォーマルドーピングとプレーナデバイス製造のために精密制御された極浅注入のためのB_2H_6/Heセルフレギュレーションプラズマドーピング技術(IEDM特集(先端CMOSデバイス・プロセス技術))

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