中本 圭一 | 株式会社ユー・ジェー・ティー・ラボ

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概要

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• 株式会社ユー・ジェー・ティー・ラボの論文著者

関連著者

• 中本 圭一

  株式会社ユー・ジェー・ティー・ラボ

• 小林 啓介

  物材機構

• 池永 英司

  Crest・jst

• 小畠 雅明

  NIMS

• 池永 英司

  (財)高輝度光科学研究センター

• 小倉 基次

  パナソニック株式会社

• 中本 圭一

  株式会社 東芝 システム・ソフトウェア技術研究所

• 佐々木 雄一朗

  株式会社ユー・ジェー・ティー・ラボ

• 岡下 勝巳

  株式会社ユー・ジェー・ティー・ラボ

• 北岡 太郎

  株式会社ユー・ジェー・ティー・ラボ

• 水野 文二

  株式会社ユー・ジェー・ティー・ラボ

• 金 成国

  株式会社 ユー・ジェー・ティ・ラボ

• 小畠 雅明

  財団法人 高輝度光科学研究センター

• 佐々木 雄一朗

  株式会社 ユー・ジェー・ティ・ラボ

• 岡下 勝己

  株式会社 ユー・ジェー・ティ・ラボ

• 水野 文二

  株式会社 ユー・ジェー・ティ・ラボ

• 池永 英司

  財団法人 高輝度光科学研究センター

• 小林 啓介

  財団法人 高輝度光科学研究センター

• 池永 英司

  高輝度光科学研究センター:科学技術振興機構戦略的創造研究推進事業

• 池永 英司

  Jasri/spring-8

• 池永 英司

  財団法人高照度光科学研究センター

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著作論文

• 三次元フィンデバイスへのコンフォーマルドーピングとプレーナデバイス製造のために精密制御された極浅注入のためのB_2H_6/Heセルフレギュレーションプラズマドーピング技術(IEDM特集(先端CMOSデバイス・プロセス技術))
• 硬X線光電子分光による極浅プラズマドーピングとイオン注入サンプルの化学結合状態の比較

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