敦賀 達也 | 茨城大

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概要

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関連著者

• 江田 弘

  茨城大学

• 周 立波

  茨城大

• 清水 淳

  茨城大

• 清水 淳

  茨城大学工学部

• 江田 弘

  茨城大

• 敦賀 達也

  茨城大

• 周 立波

  茨城大学工学部

• ソルタニ バーマン

  茨城大

• 岡西 幸緒

  (株)アライドマテリアル

• 福西 利夫

  (株)アライドマテリアル

• 岡西 幸雄

  (株)アライドマテリアル

• 江田 弘

  茨城大学工学部

• 佐々木 淳一

  茨大院

• 福西 利夫

  A.L.M.T

• 岡西 幸緒

  A.L.M.T

• 佐々木 淳一

  茨城大

• 敦賀 達也

  茨城大学院

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著作論文

• 208 大口径シリコンウエハの研削加工と加工変質層(OS-7 ナノ・マイクロ加工)
• 907 電気泳動法によるCMG砥石の開発のその性能評価(関東支部 茨城講演会)
• 302 CMGによるパターンウエハの平坦化に関する研究(精密/微細加工と評価)

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