衛藤 浩之 | 横浜国立大学大学院工学研究院

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概要

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• 衛藤 浩之

  横浜国立大学大学院工学研究院

• 荒川 太郎

  横浜国立大学 大学院工学研究院

著作論文

• パルスレーザ蒸着(PLD)法による(Ba,Sr)TiO_3薄膜の作製における下部電極について(ゲート絶縁膜,容量膜,機能膜及びメモリ技術)

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