大川 哲男 | (株)日立製作所 生産技術研究所
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概要
関連著者
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大川 哲男
(株)日立製作所生産技術研究所
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(株)日立製作所 生産技術研究所
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著作論文
- 研磨圧力分布の補正によるCMPの研磨量均一性の改善
- 研磨パッドの表面状態がCMPの研磨能率に及ぼす影響の検討
- ウエハ研磨加工における研磨レート低下挙動の解明
- GaAsウェハ鏡面研磨加工の基礎検討 : 第1報 : パッド寿命の改善
- CMPによる層間膜の平坦化